9月20日,山東省重大實(shí)施類項(xiàng)目——德州有研億金集成電路用高純?yōu)R射靶材生產(chǎn)項(xiàng)目順利投產(chǎn),對(duì)促進(jìn)我國集成電路產(chǎn)業(yè)穩(wěn)定發(fā)展具有重要意義。
投產(chǎn)儀式現(xiàn)場(chǎng)(圖據(jù):韓哲)
相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹,項(xiàng)目位于山東省德州市天衢新區(qū),總建筑面積約4.5萬平方米,系中國有研集團(tuán)所屬有研億金新材料有限公司投資建設(shè),主要用于高純?yōu)R射靶材高端產(chǎn)品的研發(fā)與生產(chǎn)制造。該產(chǎn)品是集成電路制造用關(guān)鍵材料之一,在國民經(jīng)濟(jì)、國防建設(shè)及現(xiàn)代化信息化社會(huì)中具有極其重要的戰(zhàn)略意義。項(xiàng)目建成投產(chǎn)后,預(yù)計(jì)年產(chǎn)4.3萬塊12寸高純?yōu)R射靶材,有助于優(yōu)化和改善靶材產(chǎn)品結(jié)構(gòu)和生產(chǎn)工藝,強(qiáng)化高純金屬半導(dǎo)體濺射靶材的生產(chǎn)制造,進(jìn)一步擴(kuò)大靶材產(chǎn)能,滿足國內(nèi)大規(guī)模集成電路行業(yè)的需求。
項(xiàng)目全景航拍(圖據(jù):韓哲)
“高純?yōu)R射靶材為高端芯片制造重要組成部分,其對(duì)吹掃干燥靶材的壓縮空氣潔凈度及濕度有著極高要求。”作為項(xiàng)目建設(shè)單位的中國五冶集團(tuán)相關(guān)工作人員表示,在設(shè)備安裝過程中,項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)采用了具備環(huán)保、高強(qiáng)度優(yōu)勢(shì)的鋁管材料和專用接頭安裝,進(jìn)一步減少施工過程中對(duì)管道的污染,保證了壓縮空氣滿足生產(chǎn)需要。為打造百分百高品質(zhì)現(xiàn)場(chǎng),項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)及時(shí)優(yōu)化網(wǎng)絡(luò)計(jì)劃、搶抓一切有效施工時(shí)間,實(shí)現(xiàn)了提前竣工驗(yàn)收,為項(xiàng)目順利投產(chǎn)打下堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。同時(shí),該項(xiàng)目也因出色的質(zhì)量管理榮獲了德州市建設(shè)工程優(yōu)質(zhì)結(jié)構(gòu)工程稱號(hào)。